Despre produs
Descriere Produs
S51 Piezo Sfat/Tilt și Z Etapă
S51 este un piezoelectric deviere etapă cu 3 axe de mișcare în θx, θy și Z,și cu un 80×80mm centrală deschidere mare.Se adoptă fără frecare balama flexibila structura de design, cu viteza de răspuns rapid și de înaltă precizie de buclă închisă de poziționare.Centrale deschidere mare îl face ușor să se integreze în microscopică și scanare sistem optic.Caracteristici • Mișcare în θx, θy și Z • circuit Închis versiune de înaltă precizie • răspuns Rapid • Deschidere de 80×80 mm
De înaltă Rezoluție și Precizie
S51 piezo deviere stadiu adoptă o frecare balama flexibila structura de directoare și este optimizat prin analiza cu element finit, cu mare rigiditate și de ghidare de precizie.Built-in senzor de precizie poate fi folosit pentru poziția de feedback pentru a se asigura excelent de control de mișcare de precizie.Liniare propunere de rezoluție poate ajunge la sub-nanometrică, deformarea rezoluție de sub-microradian, și poziționarea timpul de stabilizare este în ordinea de milisecunde.
Design Ultra-subțire
S51 piezo etapă este special conceput pentru aliniere, nanofocusing, metrologie, etc., și are profil redus, de numai 20mm, ușor să se integreze.Analiza de simulare S51 analiza cu element Finit tehnici sunt utilizate pentru a proiecta cea mai mare rigiditate în direcția de mișcare și de a reduce nealinierea unghiulară.Balama mecanism are lacune și fără frecare, oferind de înaltă precizie.
Date Tehnice
Modele
Sufixul S - buclă închisă
Sufixul K - buclă deschisă
S51.ZT1S
S51.ZT1K
Unitate
Activă axa
θx, θy, Z
Liniar de călătorie intervalul (0~+120V)
80
µm±10%
Liniar de călătorie intervalul (0~+150V)
100
µm±10%
Unghiul de înclinare (0~+120V)
±0.9/axa （≈±190"）
mrad±10%
Unghiul de înclinare (0~+150V)
±1.1/axa （≈±220"）
mrad±10%
Senzor integrat
SGS/-
Rezoluție în Z
7/4
nm
Rezoluție(θx, θy)
0.25 （≈0.05"）
/0.05 （≈0.01"）
µrad
În buclă închisă liniaritate
0.1/-
%F. S.
În buclă închisă repetabilitate
0.05/-
%F. S.
Push/pull forță
120/15
N
Rigiditate în mișcare în direcția （Z）
1.5
N/µm±20%
Descărcate frecvență de rezonanță
340
Hz±20%
Descărcate pas de timp
30/4.5
ms±20%
Capacitatea de încărcare
1
kg
El.capacitate
5.4
µF±20%
Material
Aluminiu, oțel
Masa
820
g±5% Notă: parametrii de mai Sus sunt măsurate cu E00/E01 piezo controller.Maxime de conducere tensiune poate fi-20V~150V; De înaltă fiabilitate și funcționare pe termen lung, recomandate de conducere tensiunea este 0~120V.
Deschidere mare S51 piezoelectric etapă are o deschidere mare de 80×80 mm, care este foarte potrivit pentru sexuala-aplicații ușoare.
Desen
Recomandat Controlere
Cerere
• Scanare microscopie • fascicul Laser de aliniere • Interferențe/metrologie • Spațiu perturbare simulare • Biotehnologie
Compania Noastra
CoreMorrow are tehnice profesionale R&D echipa, puternic R&D puterea, avansate de producție și echipamente de testare, produse personalizate pot fi livrate rapid în 1 până la 4 săptămâni.Am obținut de întreprindere de înaltă tehnologie naționale de certificare și a fost certificată cu ISO 9001:2015, CE si RoHS.Detinem mai mult de 50 de brevete, inclusiv brevete de invenție, model de utilitate, de brevete, aspectul brevete și drepturi de autor de software, etc. care acoperă tehnologii-cheie de poziționare precisă, de detectare, de detectare, de control, și software-ul.Și a devenit cel mai mare producător profesionale de precizie de poziționare de produse din China.
Certificat
